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无尘室特性编辑
(l)耐久性;⑵成本; ⑶适应性; ⑷可维护性;⑸清洗。
耐久性
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是*的物质。
清洗
在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有*被清洗和擦拭,直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在 biotech 市场,清洗真正地是一个较重要的企业。
成本
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较*和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。
适应性
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致较大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键,所以他们从不将较初的设计定型。
维护性
对无尘室 C/R 而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否*清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中较重要的为天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说 :若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须精确。
许多了解无尘室的人都赞同,*一次拥有无尘室的拥有者,应使用较好之C/R 建筑或工程设计公司或了解建筑 C/R 设计之建筑承包商若假设他们不了解, 则必会浪费一大笔不必要花的钱,故选择一建造C/R 的公司也是非常重要的。
对 C/R 而言,其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆盖会引起尘埃,而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂,但并不是所有 C/R 的地板,都会覆盖,乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式,而全面层流都是冲孔式。
乙烯基有一作用即脱氧,但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果,而无尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵,但铝却可以保护墙面不被空气所氧化,可是却易受酸性气体的侵蚀,而避免的方法是使用电镀,便铝表面增厚,不易氧化,再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。
对于半导体工业而言,无尘室是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破裂了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
另外,C/R较怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式 C/R 而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的天花板优点为,放置方式并没有严格的限制。
C/R 之墙壁还有一种是以薄钢制成,但必须在表层涂上一层保护层,否则亦会腐蚀,它并不容易电镀,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很*剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的 C/R 会使得房间的光线大增,以及美观,但必须涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭恐惧症。
适应行业:保健品建议等级:百级-10万级
保健品GMP净化车间环境要求:
应当根据保健食品品种、生产操作要求及外部环境状况配置空气净化系统,使生产区有效通风,并有温度控制、必要的湿度控制和空气净化过滤,**保健食品的生产环境。片剂、胶囊、软胶囊、口服液、丸剂、颗粒剂、粉剂、茶剂、膏剂等保健食品暴露工服及其直接接触保健食品的包装材料较终处理的暴露工序区域,应当参照附录A中D级洁净区的要求设置,企业可根据产品的标准和特性对该区域采取适当的微生物监控措施。
净化车间配套(辅助)设备:
洁净室(区)内设置的称量室和备料室,空气洁净度级别应当与生产要求一致,并有捕尘和防止效叉污染的设施。生产车间应当设置工具容器清洗间、存放间,用于生产用工具容器的清洗和存放; 应当设置洁具间、存放间,用于清洁工具的清洗和存放。
厂房必要时应当有防尘及捕尘设施。空气洁净度等级相同的区域内,产尘量大的操作室应当保持相对负压。产尘量大的洁净室(区)经捕尘处理不能避免交叉污染的,其空气净化系统不得利用回风
气压、温湿度工艺:
洁净室(区)与室外大气的静压差应当大于10帕,并应当有压差指示的装置。空气洁净度规定保持相对负压的相邻房间(区域)之间的静压差应当符合规定,应当有指示压差的装置,并记录压差。
洁净室(区)的温度和相对湿度应当与生产工艺要求相适应当,无特殊要求时,温度应当控制在18C- 26%C,相对湿度控制在45%- 65%。
控管项目编辑
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。
⒋ 压力之调节。
⒌ 有害气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。
⒎ 静电之防制。
⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。
⒑ 节能之考量。
⒒照度的的调节
无尘室分类编辑
1.乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较*,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制
无尘室
无尘室
程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率**之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理*,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。